CCQ-A型系列氣動(dòng)超高真空插板閥是用壓縮空氣為動(dòng)力,通過(guò)電磁換向閥改變氣路方向,推動(dòng)氣缸活塞,驅(qū)動(dòng)閥板作上下運(yùn)動(dòng),實(shí)現(xiàn)閥門的開(kāi)啟或關(guān)閉,從而達(dá)到在超高真空系統(tǒng)中接通或切斷氣流的目的。
適用的工作介質(zhì)為潔凈的空氣和非腐蝕性氣體。
CCQ-A型系列氣動(dòng)超高真空插板閥主要技術(shù)性能 | |
適用范圍(Pa) |
105~1.3x10-7 |
閥門漏率(Pa.L/S) |
DN≤200為≤1.3x10-7 DN≥250為≤6.7x10-7 |
閥門烘烤溫度(℃) |
≤150(除傳動(dòng)裝置外) |
開(kāi)閥時(shí)閥板兩側(cè)壓力差(Pa) |
≤2.7x103 |
氣源壓力(MPa) |
0.4~0.6 |
電源電壓 |
標(biāo)準(zhǔn)出廠:AC220V/50Hz 特殊指定:AC110V;DC24V;DC12V等 |
信號(hào)反饋 |
標(biāo)準(zhǔn)出廠:不帶反饋信號(hào) 特殊指定:微動(dòng)開(kāi)關(guān)DC/AC5~240V | | |
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CCQ-A型系列氣動(dòng)超高真空插板閥連接及外形尺寸 | |
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型號(hào) |
通徑(DN) |
ΦD |
ΦD0 |
ΦD1 |
ΦD2 |
ΦD3 |
H |
A |
n-d |
L |
L1 |
B |
法蘭標(biāo)準(zhǔn) |
CCQ-50A |
50 |
89 |
72.4 |
61.6 |
55.6 |
/ |
60 |
91 |
8-M8 |
515 |
153 |
62 |
GB/T6071 |
CCQ-63A |
63 |
114 |
92.1 |
82.6 |
76.6 |
/ |
65 |
105 |
8-M8 |
590 |
180 |
62 |
CCQ-80A |
80 |
130 |
110 |
99 |
93 |
/ |
65 |
130 |
16-M8 |
608 |
220 |
75 |
CCQ-100A |
100 |
152 |
130.2 |
120.7 |
114.7 |
/ |
70 |
152 |
16-M8 |
655 |
267 |
94 |
CCQ-150A |
150 |
202 |
181 |
171.5 |
165.5 |
/ |
70 |
202 |
20-M8 |
707 |
350 |
94 |
CCQ-200A |
200 |
254 |
231.8 |
222.3 |
216.6 |
/ |
80 |
251 |
24-M8 |
806 |
426 |
112 |
CCQ-250A |
250 |
314 |
288 |
308 |
275 |
271 |
85 |
300 |
24-M10 |
1125 |
550 |
112 |
JB5278 |
CCQ-300A |
300 |
365 |
338 |
353 |
323 |
318 |
90 |
352 |
32-M10 |
1195 |
613 |
140 |
/ | | |